박막 응력 및 기저 굴곡 테스트 설비

박막 응력 및 기저 꼬임 테스트 장비 소개:
FSM 500TC 200mm 고온 응력 테스트 시스템은 개발 및 공정 엔지니어가 주로 반도체, 3-5 패밀리, 태양 에너지,LED,데이터 저장, 마이크로컴퓨터 및 패널 산업.이러한 특성은 박막의 갈라짐, 빈틈, 돌기 등 생산 과정에서 심각한 문제를 초래할 수 있다는 것을 감지하는 데 도움이 된다.FSM500TC는 새로운 공정과 재료가 생산되기 전에 성숙성을 검증하는 도구로서 중요한 역할을 합니다.

FSM 500TC 200mm의 간결한 사용자 인터페이스를 통해 작업자나 가끔 사용하는 개발자가 연구 개발 또는 생산 환경에서 실온과 고온 환경에서 응력 테스트를 쉽게 할 수 있습니다.

주요 설계 특징:
·다용도:
50-200mm 웨이퍼와 호환되며 샘플 탑재대와 클램프를 교체할 필요가 없으며 실온과 고온에서 웨이퍼 응력과 웨이퍼 굴곡을 테스트할 수 있다.
·간편한 샘플 배치 및 재활용
자리맞춤핀을 사용하여 웨이퍼를 FSM 500TC에 쉽게 배치하여 반복 작업 수행
·이중 대역 레이저 자동 전환
가지고 있는 자동 레이저 전환 스캐닝 기술.샘플의 반사율이 좋지 않으면 시스템은 자동으로 다른 파장의 다른 레이저로 전환되어 스캔합니다.이를 통해 고객은 Nitride, Polyimides, Low K, HighK, 금속과 같은 필름을 측정 할 수 있으며 측정 할 수없는 문제가 발생하지 않습니다.
·프로그래밍 가능한 온도 주기
가열 주기 메뉴는 한 개 또는 여러 개가 서로 다른 가열 속도와 퇴화 온도 조건에서 작동하도록 프로그래밍하여 박막 재료의 열 안정성 검사를 할 수 있다.
·데이터 관리 및 보고
테스트 결과는 응력 vs 온도, 응력 vs 시간 또는 수정궁 vs 온도를 좌표로 도표를 생성하여 Excel로 쉽게 표시하고 출력할 수 있다™ 또는 Word 형식의 보고서입니다.열팽창 계수 계산 응용은 FSM500TC의 표준 기능입니다.

서로 겹치는 여러 가열 주기, 테스트 결과의 차트와 MAP는 Excel 또는 Word 문서로 쉽게 출력되어 보고서를 생성할 수 있습니다.